電子束直寫系統(tǒng)（第二次）評(píng)標(biāo)結(jié)果公示公告

【中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)】項(xiàng)目名稱：電子束直寫系統(tǒng)（第二次）招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào)：2947-264hs2026g03招標(biāo)范圍：電子束直寫系統(tǒng)1套（含電子束直寫系統(tǒng)主機(jī)、電子槍、激光干涉位移臺(tái)、自動(dòng)動(dòng)態(tài)對(duì)焦系統(tǒng)（含像散矯正、寫場(chǎng)畸變...